অ্যালুমিনিয়াম মিরর ইনলাইন ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং লাইনটি গ্লাস মিরর উত্পাদন উদ্দেশ্যে উচ্চ আউটপুটের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।বড় কাচের প্রলেপ দিতে এবং ভঙ্গুর কাচের প্যানেলের যত্ন নিতে, বিশেষ করে বড় আকারের শীটগুলির জন্য, আমরা সাধারণত অনুভূমিক ধরণের স্পুটারিং লাইন তৈরি করি।এটি একটি ক্রমাগত ম্যাগনেট্রন আবরণ লাইন, সামনে এবং পিছনে রুক্ষ পাম্পিং চেম্বার সহ, এবং ট্রানজিশন চেম্বারের পরে, সূক্ষ্ম পাম্পিং চেম্বারের আগে এবং পরে, একটি বাফার চেম্বার, রঙের কলাই ঘর।
লক্ষ্য ডি ইসাইন: নলাকার ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং ক্যাথোড বা/এবং প্ল্যানার ক্যাথোড।
পাওয়ার উত্স: উচ্চ ক্ষমতার ডিসি বা এমএফ ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং সহ পাওয়ার সাপ্লাই
অ্যালুমিনিয়াম মিরর ইনলাইন ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং লাইন সাধারণত কাচের শীটে ভ্যাকুয়াম আবরণ সম্পূর্ণ করার জন্য একাধিক ভ্যাকুয়াম চেম্বারের সাথে আসে।
প্রধান বৈশিষ্ট্য:
1.Max.glass আবরণ আকার:2440x3660mm বা কাস্টমাইজড
2. মাল্টি-ভ্যাকুয়াম চেম্বার এবং মাল্টি-স্পটারিং চেম্বার ডিজাইন পাওয়া যায়
3. অনুভূমিক চৌম্বক নিয়ন্ত্রণ লাইন একক শেষ এবং ডবল শেষ গঠন আছে;কাচের ডাবল পরিস্কার, আবরণ, সনাক্তকরণ, পেইন্টিং, শুকানো, কুলিং সব এক সময়ে শেষ করা যেতে পারে
4. স্পুটারিং লেপ লাইন পুরো প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণের জন্য PLC ব্যবহার করে এবং আবরণ প্রক্রিয়ার ডেটা দেখানোর জন্য রঙিন পর্দা দিয়ে সজ্জিত
আবরণের স্তর: টাইটানিয়াম, ক্রোম, স্টেইনলেস স্টীল, অ্যালুমিনিয়াম, সিলভার, কপার, ইত্যাদি।
যৌগ: TiN, TiO2, ইত্যাদি
স্তর বেধ: 5-100nm
সংক্রমণ: 380-780 এনএম তরঙ্গদৈর্ঘ্যে 8-40%
জমা তাপমাত্রা: ঘরের তাপমাত্রা
8 ঘন্টা পাম্প-ডাউনের পরে চূড়ান্ত চাপ:
এন্ট্রি লক চেম্বার এবং ভ্যাকুয়াম লক চেম্বার: 5×10-1 Pa বা নীচে
বাফার চেম্বার 1 : 3×10-3 Pa বা নীচে
স্পুটারিং চেম্বার: 2×10-3 Pa বা নীচে
বাফার চেম্বার 2 : 3×10-3 Pa বা নীচে
লক চেম্বার এবং ভ্যাকুয়াম লক চেম্বার থেকে প্রস্থান করুন: 5×10-1 Pa বা নীচে